描述
关键技术规格
- 板卡形态：6U VME，标准 VMEbus C.1，A16/A24 寻址，D16/D32 数据
- 测量轴数：双轴同步干涉测量
- 分辨率：<1 nm（纳米级）
- 测量精度：±0.1 μm（读数的 ±0.05% +1 nm）
- 位置 / 速度格式：36 位 / 32 位补码
- 时间分辨率：25 ns；时间范围：107.4 秒
- 数据接口：VME 总线、P2 高速接口（最高 7.7 MHz，支持 16 轴）
- 电源：+5V ±5% @ 3.5A
- 工作温度：-20°C ~ +70°C
- 重量：约 1.2 kg
产品深度介绍
ZYGO ZMI-2002（8020-0211-1-J）是6U VME 总线双轴激光干涉测量板，作为 ZYGO 激光测量系统的核心信号处理单元，负责激光干涉信号采集、实时解算与位置 / 速度反馈，广泛用于半导体、光学加工、精密运动控制等纳米级测量场景。
板卡集成高精度光电接收、相位解调与数字处理电路，通过光纤连接激光头，实现双轴同步、亚纳米级分辨率的位移与角度测量；支持 VME 或 P2 接口编程，可无缝集成到 VME 机架控制系统，减少插槽占用、简化多轴连接。
应用场景与行业案例
精密制造与科研设备常需纳米级定位与检测，普通编码器精度不足，而 ZYGO 激光干涉是高端制程标配。
- 半导体光刻 / 检测：晶圆台双轴位移闭环反馈，保障套刻与定位精度。
- 光学元件加工：平面 / 球面 / 非球面面形测量，纳米级形貌解析。
- 精密机床 / 运动平台：直线电机 / 气浮台双轴同步控制，实时位置补偿。
- 航天 / 科研仪器：望远镜、干涉仪等精密设备的姿态与位移监测。
案例：某光学研究所高精度平台升级原有单轴激光系统精度不足、同步差大，无法满足非球面检测需求。
- 替换为 ZMI-2002 双轴测量板，配 ZYGO 氦氖激光头；
- VME 总线接入现有控制器，P2 接口实现双轴同步；
- 精度达 ±0.1μm、分辨率 < 1nm，同步误差 < 50nm；
- 一次安装调试完成，无需改造机架，半年稳定运行无故障。
核心卖点与差异化
- 双轴纳米级精度：同步测量、<1nm 分辨率、±0.1μm 精度，远超普通编码器。
- 标准 VME 即插即用：6U 尺寸、VMEbus C.1，兼容主流 VME 机架，直接替换。
- 高速实时处理：25ns 时间分辨率、7.7MHz P2 速率，支持多轴同步扩展。
- 工业宽温高可靠：-20°C~+70°C，抗振动、电磁兼容，适配严苛工况。
- ZYGO 原厂技术：激光干涉领域标杆，配套激光头与软件，提供完整校准与质保。
质量检测流程
- 入库核验：核对型号、序列号、原厂标签，官网溯源；检查 PCB 无腐蚀、金手指无划痕、无维修痕迹。
- VME 机架测试：6U VME 机箱通电自检，LED 状态正常；VME 总线读写、中断响应正常；P2 接口高速通讯测试无误。
- 精度校准：连接 ZYGO 激光头，标准环境下（20°C±2°C、湿度 40%–60%）测试：分辨率 < 1nm、精度 ±0.1μm、双轴同步误差 < 50nm。
- 稳定性测试：连续 24 小时带载运行，监测温度、功耗、数据稳定性；记录完整测试报告，可提供视频 / 照片。
- 包装发货：防静电袋 + 气泡膜 + 硬纸箱，附测试报告、质保卡、合格证。
