描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | INR-244-203B |
| 控温原理 | 珀尔帖 Peltier 半导体制冷 / 加热一体，无氟利昂冷媒 |
| 散热方式 | 水冷型 |
| 温度稳定度 | ±0.03℃ |
| 适用循环液 | 清水、乙二醇水溶液、氟化液 |
| 内置部件 | 循环泵、液位传感器、过热保护、漏液检测 |
| 通讯接口 | RS485 串行通讯，可接入 PLC/DCS 上位机监控设定温度、报警 |
| 防护功能 | 液位低报警、超温停机、冷却水流量不足保护 |
| 接液材质 | 不锈钢 + 特种树脂，不含铜、铝（适配半导体洁净工况） |
| 噪音水平 | 低振动静音设计，适合精密检测车间 |
| 工作环境 | 5~40℃环境温度，无凝露 |
| 安装方式 | 落地式，自带排液口 |
产品深度介绍
SMC INR-244-203B 是 INR-244 系列早期水冷款珀尔帖恒温浴槽，区别于压缩机制冷恒温槽，核心优势是无冷媒、振动极低、控温分辨率高，是半导体工艺配套的精密温控设备。 内置循环泵让浴槽内液体均匀流动，消除槽内温差；自带多重安全联锁，液位、冷却水、超温任意一项异常即停机并输出报警信号，报警信号可接入自动化控制系统。支持上位机通讯，PLC 可以下发设定温度、读取实际温度、抓取故障代码。
重点区分：INR-244-203B 为水冷散热版本；同系列后缀 8XX 为风冷款，散热结构、接口管路完全不同，不可直接替换；珀尔帖机型制冷上限远低于压缩机冷水机，不能混淆选型。
应用场景与行业案例
INR 系列恒温浴槽主打低振动高精度温控，大量配套在半导体薄膜沉积、MOCVD、扩散炉、电导分析仪、光学检测设备。 典型应用场景：
- 半导体工艺设备配套（MOCVD、扩散炉） 工艺载台、气体管路恒温，要求低振动、无冷媒污染风险。
- 精密化学分析、物性检测设备 反应釜、电导池恒温浴，保证检测数据重复性。
- 光学、激光设备冷却恒温 激光腔体、光学基准平台恒温控制。
- 高校 / 研究院精密理化实验
案例：江苏半导体外延设备抢修 今年 7 月，江苏某外延厂 MOCVD 配套 SMC INR-244-203B 恒温浴槽，循环泵老化 + 温控漂移，浴槽温度波动超标，外延片良率大幅下滑。 维保一开始拿 INR-244 风冷款上机替换，接上管路后发现缺少冷却水回路联锁，散热能力不足，短时间触发超温保护，设备无法稳定生产。 原厂订货交期 16 周，产线不能长期降产。 备件到货前做整机上电、循环泵流量、控温稳定性、报警联锁、RS485 通讯联调。更换后，冷却水回路、液位、超温保护全部正常，温度稳定控制在 ±0.03℃以内，外延良率恢复。 备件台账备注：水冷型珀尔帖浴槽，。
