描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品名称 | COMBIVAC CM31 真空计控制器 |
| 测量原理 | Pirani 皮拉尼 + Penning 冷阴极复合测量 |
| 压力量程 | 1×10⁻⁹ mbar ~ 大气压 |
| 可接入探头 | 最多 2 路 THERMOVAC TR 皮拉尼探头，1 路 PENNINGVAC PR 冷阴极探头 |
| 适配探头型号 | TR201/TR205/TR206/TR211/TR216；PR25/PR32/PR35/PR36 |
| 通讯接口 | RS232C 串行接口，可对接上位机 |
| 输出配置 | 多路继电器设定点输出，用于真空联锁控制 |
| 供电电源 | 100~240V AC 宽电压输入 |
| 安装方式 | 机架嵌入式安装 |
| 面板功能 | 真空数值显示、按键设置、探头状态诊断 |
| 产品状态 | 原厂停产，替代型号 CM51 |
产品深度介绍
LEYBOLD CM31 COMBIVAC 是德国莱宝经典通用真空计控制器，集成皮拉尼、冷阴极两种真空测量原理，覆盖从大气压到超高真空的连续压力监测。控制器可同时接入最多两支 TR 系列皮拉尼探头与一支 PR 系列冷阴极探头，自动切换测量通道。
设备自带面板显示与操作按键，支持多组压力阈值继电器输出，用于真空机组联锁、腔体保护。RS232C 串口可以把真空数据上传 PLC 或工控机。该型号多用于存量真空工艺设备，作为故障控制器替换件，保障镀膜、真空炉、分子泵机组压力监测与保护逻辑正常运行。
应用场景与行业案例
真空工艺设备对腔体压力监测依赖性很强，CM31 一旦故障，压力读数丢失，真空联锁保护失效，分子泵、溅射腔体存在损坏风险。老真空设备改造项目，原厂不再供货，备件替换必须核对探头型号、继电器逻辑与上位通讯协议。
典型应用场景：
- 真空镀膜行业 – 光学镀膜、金属溅射设备，腔体全量程真空监测，分子泵保护联锁。
- 热处理行业 – 真空钎焊炉、烧结炉，炉内压力监控与充气、抽气工艺联锁。
- 科研实验室 – 超高真空实验平台，真空腔体压力采集，数据记录。
- 半导体配套 – 旧款刻蚀、蒸发设备真空测量单元。
案例：某光学镀膜产线抢修 去年 7 月，江苏光学镀膜厂一台溅射设备 CM31 控制器故障，面板无压力显示，真空联锁保护失效，设备无法启动镀膜程序。 联系莱宝原厂，CM31 早已停产，升级 CM51 需要修改机柜接线、上位程序，停机改造至少一周，产线产能损失巨大。 我方 CM31 备件完成探头联机仿真测试，当天发出。现场工程师核对原有探头接线、继电器阈值参数，上机通电，三路真空探头全部识别，压力读数正常，联锁保护动作正常，镀膜机恢复生产。
