描述
关键技术规格
- 控制轴数：6 自由度（X/Y/Z/θx/θy/θz）
- 定位精度：±0.5nm（3σ），重复精度 ±0.2nm
- 核心处理器：专用运动控制 DSP+FPGA
- 接口：双 BNC（75Ω，振动 / 位置反馈）、VME32 背板、I/O 端子
- 供电：24VDC±10%，功耗约 4.5W
- 工作环境：温度 18–28℃（洁净室），湿度 40–60% RH
- 尺寸 / 重量：约 233×160×20mm / 0.45kg
- 核心特性：实时闭环控制、亚纳米级插值、主动振动抑制
MC1AB37 4022.437.1856
产品深度介绍
ASML MC1AB37（4022.437.1856）是半导体光刻机的 “心脏” 控制板，专为 TWINSCAN 系列步进扫描光刻机设计，负责掩模台（Reticle Stage）与晶圆台（Wafer Stage）的六轴同步运动控制。
- 纳米级定位：控制精度达0.5nm，满足 3nm 及以下先进制程光刻对准需求
- 高速同步：同步控制六轴运动，实现高速扫描（>500mm/s）下的纳米级动态稳定
- 通信转换：集成 VME 总线与现场传感器 / 执行器的协议转换，实时传输位置 / 振动数据
- 洁净室适配：低发热、无风扇设计，适配半导体厂高洁净度（ISO 1）环境
MC1AB37 4022.437.1856
