描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 完整编号 | ATCS-15，1464-0320 |
| 产品构成 | 电源模块 + 源杯组件一体化温控单元 |
| 适用工艺 | 半导体薄膜沉积，液态前驱体气化供给 |
| 防爆等级 | Class1 Division2，适配危险化学品现场 |
| 人机界面 | 本地数字显示面板，按键参数设定 |
| 通讯接口 | 串行通讯，对接半导体机台主控系统 |
| 温度控制方式 | 闭环 PID 控温，稳定前驱体饱和蒸气压 |
| 安装形式 | 分体式，控制模块可远离源杯危险区域 |
| 工作环境 | 洁净厂房，配套半导体工艺设备 |
| 防护 | 过温保护、液位监测、故障报警输出 |
| 供电规格 | 以原厂手册为准 |
产品深度介绍
SCHUMACHER ATCS-15（1464-0320）属于 VaporGuard 系列源杯温控系统，多用于半导体薄膜工艺设备，对液态化学前驱体进行恒温加热，保证药剂稳定气化，持续向反应腔输送气相原料。
采用分体结构，源杯放置在工艺危险区域，控制单元可以安装在安全区，满足 Class1 Division2 防爆分区规范。自带本地显示面板，可直接查看温度、报警状态，支持与上层机台控制器通讯交互。该型号属于早期半导体设备配套部件，原厂现已停产，多用于旧晶圆产线大修、设备备件替换。一旦温控单元故障，会直接造成薄膜工艺厚度不均，整片晶圆报废。
应用场景与行业案例
半导体老产线最棘手的就是前驱体源杯温控故障。温度小幅漂移，就会改变药剂蒸气压，薄膜沉积厚度一致性超标，整批次晶圆只能报废。整机更换设备成本极高，业主大多优先采购同型号 ATCS-15 备件直接替换，保留原有管路与机台程序。
典型应用场景：
- 半导体晶圆制造 – CVD 薄膜沉积设备，金属前驱体源杯恒温控制，稳定气相输送。
- 化合物半导体产线 – MOCVD 工艺，控制液态金属有机药剂蒸发速率。
- 科研洁净实验室 – 气相材料沉积实验，化学品气化供给温控。
- 二手半导体设备翻新 – 老旧进口工艺机台备件更换。
案例：长三角一家化合物半导体产线设备抢修 去年产线一台 MOCVD 配套的 SCHUMACHER ATCS-15，出现温度失控报警，无法维持前驱体恒温，产线只能停机。原厂早已停产，新机采购周期长达 3 个月。停机一天，多批次外延片报废，损失很高。
设备工程师提前导出机台通讯参数，核对源杯接口、通讯协议版本。我们出库前完成温控闭环测试，校验超温保护、报警输出，附带完整测试报告。备件到场完成替换，通讯握手正常，源杯温度稳定，产线恢复生产。
