描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | ATCS-15，订货编号 1464-0320 |
| 系统构成 | 源杯组件 + 电源控制模块 |
| 安装分区 | 源杯置于 1 类 2 区危险区域，控制模块安全区安装 |
| 人机界面 | 本地状态指示灯、操作按键 |
| 工作环境温度 | 0 ~ +60 ℃（以原厂手册为准） |
| 防护等级 | 控制柜本体 IP20，工艺腔体按防爆规范 |
| 安装方式 | 独立单元落地 / 机架配套安装 |
| 通讯接口 | 以原厂手册为准 |
| 保护功能 | 过温、液位、泄漏多重联锁保护 |
| 认证 | CE、防爆相关认证 |
产品深度介绍
SCHUMACHER ATCS-15 是舒马赫 VaporGuard 系列半导体工艺专用温控系统，整套设备包含源杯组件与电源控制模块，用于晶圆制造工艺的化学品汽化与腔体温度闭环控制。
产品采用分区化架构，源杯组件可放置在易燃化学品的危险工艺区，控制模块布置在安全区域，自带状态面板与故障报警指示。多用于老旧半导体刻蚀、沉积设备备件更换，作为整套工艺温控单元替换。
应用场景与行业案例
半导体产线的化学品汽化温控单元一旦故障，整套晶圆工艺机台直接停机。这类设备属于进口成套设备配套单元，原厂早已停产，海外调货周期长达 10 周以上，晶圆产线停机损失极高。
典型应用场景:
- 半导体制造 – 晶圆刻蚀设备 对工艺前驱体化学品进行恒温汽化，温度波动会直接造成晶圆良率下滑。单元故障，机台必须停机。
- 半导体制造 – 薄膜沉积工艺 PVD/CVD 配套化学品供给与温控，维持稳定的蒸汽分压，保障薄膜厚度一致性。
- 科研中试线 – 半导体工艺试验平台 老旧进口工艺设备备件替换，用于小批量样品试制。
- 设备翻新行业 – 二手半导体设备改造 翻新进口晶圆机台，替换老化 ATCS-15 温控单元，恢复设备工艺能力。
案例：江苏某半导体中试线抢修 去年 9 月，江苏一家半导体中试线的薄膜沉积设备 ATCS-15 温控单元报警停机，化学品汽化回路失控，机台紧急暂停。产线上还有一批研发晶圆正在加工，长时间停机将直接报废这批样品。
设备工程师确认型号 SCHUMACHER ATCS-15，联系原厂得知型号停产，海外订货周期 10 周。中试项目交付节点紧张，无法等待长周期货期。
采购找到我们，完成全套上电、温控模拟、报警回路测试后 3 天发出备件。现场完成单元拆装、管路对接、参数标定，机台恢复生产。
