描述
关键技术规格
| 参数项 | 技术数据 |
|---|---|
| 型号 | ATCS-15(1464-0320) |
| 控温范围 | +10℃ ~ +60℃(可扩展至 – 40℃~+120℃,需定制) |
| 控制精度 | ±0.1℃ |
| 稳定性 | 优于 ±0.2℃ |
| 控制算法 | 多通道 PID,自适应整定 |
| 传感器输入 | PT100 铂电阻、K/S 型热电偶 |
| 通道数量 | 标准 4 通道,可扩展至 8 通道 |
| 通讯接口 | RS485、Modbus RTU,可选 CANopen |
| 工作电压 | 100–240V AC(宽幅输入) |
| 功耗 | 最大 150W |
| 工作温度 | -10℃ ~ +50℃ |
| 尺寸(长 × 宽 × 高) | 220 mm × 160 mm × 60 mm |
| 重量 | 约 2.8 kg |
产品深度介绍
SCHUMACHER ATCS-15(1464-0320)是美国舒马赫专为精密工业与实验室打造的高精度温度控制系统,核心用于半导体、化工沉积、精密仪器等场景的恒温管控。设备集成自适应 PID 算法,支持多通道独立控温,适配 PT100 与热电偶传感器,兼顾精度与灵活性。
采用模块化机架式设计,支持 IO 扩展与总线组网,可无缝接入现有自动化系统。机身带 LCD 操作界面,可本地参数设置与实时监控;通讯接口齐全,满足远程调试与数据追溯需求。相比通用温控器,其优势在于长期稳定性强、抗干扰能力高,适配 24 小时连续运行的严苛工况。
应用场景与行业案例
工程痛点
精密制程(如半导体 CVD、扩散工艺)对温度波动极敏感,普通温控器精度不足、稳定性差,易导致产品良率下降;同时老旧设备无通讯功能,无法接入 MES 系统实现数据追溯。
典型应用场景
- 半导体行业 – 晶圆制程温控用于化学气相沉积(CVD)、扩散炉温度控制,±0.1℃精度保障薄膜沉积均匀性,适配高洁净度车间环境。
- 光伏行业 – 电池片烧结温控控制烧结炉温区稳定,避免温度漂移导致电池片效率差异,支持多通道独立调节,适配大尺寸产线。
- 实验室科研 – 精密环境模拟高校 / 科研院所材料测试、生物培养恒温箱控制,支持温度曲线编程,满足复杂实验条件。
- 化工行业 – 反应釜恒温控制精细化工反应过程温度稳定,防止过热 / 副反应,适配防爆环境,支持远程监控与报警。
真实案例
案例:某半导体晶圆厂 CVD 设备升级去年 12 月,华东某晶圆厂 3 台 CVD 设备原配温控器老化,温度波动达 ±0.8℃,导致薄膜厚度不均,良率跌至 85%。原厂维修周期 6 周,停产损失巨大。
我们提供 SCHUMACHER ATCS-15(1464-0320)替换方案,现场 3 天完成安装调试。设备控温精度稳定在 ±0.1℃,支持与现有 MES 系统通讯,实现温度数据实时上传与追溯。升级后良率回升至 98%,单月减少损失超 200 万元。



