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SCHUMACHER 1460-1556 | J.C.Schumacher C0 系列半导体设备控制主板

原价为:¥8,767.00。当前价格为:¥6,787.00。

  • 型号:1460-1556
  • 品牌:J.C.SCHUMACHER(舒马赫,半导体化学品输送系统原厂)
  • 配套设备:ATCS 系列起泡器(Bubbler)、化学源柜、半导体晶圆制程药液供给设备
  • 核心功能:标准 PCI 总线嵌入式主控板,负责源柜温度闭环控制、压力调节、电磁阀时序逻辑、液位监测、上位机通讯交互;采集各类传感器信号,执行工艺配方,保障高纯化学品稳定汽化输送;为半导体机台成套定制板卡。
  • 产品类型:PCI 插槽工业控制 PCB 板卡
  • 关键规格:PCI 本地总线;多路模拟量采集、开关量输出;内置通讯处理芯片;板载程序存储芯片;适配 Schumacher ATCS 源控制系统;固件设备专属固化,不可通用 PC 板卡替代
分类:

描述

产品详情

・型号:1460-1556 ・品牌:J.C.Schumacher ・应用体系:半导体化学品起泡器 / 化学源控制系统

 

规格参数

  • 总线接口:标准 PCI 32 位插槽
  • 信号资源:多路 AI 模拟采集、DO 数字输出、串行通讯接口
  • 工作供电:PCI 插槽供电
  • 运行环境:0℃ ~ +55℃;低粉尘洁净车间工况
  • 固件特性:板载专属控制固件,仅适配 Schumacher 原厂源柜系统
  • 老化易发器件:PCI 金手指、存储芯片、信号运放、板载电解电容、通讯收发芯片
  • 供货状态:原厂整机配套备件,不单独零售;晶圆厂存量设备稀缺维修配件
  • ⚠️重要区分:普通工控 PCI 采集卡、运动控制卡硬件外形相似,但固件、通讯协议、信号定义完全不同,无法直接替换

产品介绍

  • 基础定位:1460-1556 是 Schumacher 化学源柜核心控制单元,插在源柜工控主机 PCI 插槽内,统筹温度 PID、压力监控、液位联锁、阀门顺序控制。板卡故障典型现象:源柜通讯失联、温度无法闭环调节、联锁失效、机台报化学品供给异常,直接导致晶圆制程中断。
  • 核心价值与差异:坦白讲,该板卡软硬件深度绑定 Schumacher ATCS 源控制系统,第三方通用 PCI 采集卡没有匹配固件与通讯协议,无法实现整机联动。选用同型号备件直换,原有主机插槽、通讯链路、上位交互逻辑无需改动,最大限度缩短洁净室机台停机时间。

 

应用场景与行业案例

痛点切入

  • 12 寸 / 8 寸晶圆制造厂大量配置 Schumacher 起泡器化学源柜,用于薄膜沉积、扩散工艺高纯化学品供给;控制板失效会造成整条工艺机台待机。
  • 备件原厂交期漫长,不对外单独销售板卡;整套源柜控制系统改造成本极高。
  • 维修人员容易尝试通用 PCI 采集卡替代,上机后通讯协议不匹配,无法驱动源柜执行工艺控制。

典型场景

  • 半导体晶圆厂扩散、LPCVD 工艺化学品起泡供给系统
  • 面板、光伏薄膜沉积设备 Schumacher 化学源柜
  • 集成电路制造洁净车间高纯液体汽化输送控制柜

真实案例

  • 背景:某晶圆厂 ATCS 源柜主机 1460-1556 板卡随机通讯中断,温度控制震荡,机台频繁报警待机;检测确认板卡通讯芯片工作不稳定。
  • 危机:尝试使用通用 PCI 数据采集卡替换,上位软件无法建立通讯,源柜无法执行闭环控制;整机改造方案停机成本极高。
  • 解决:更换同型号拆机 1460-1556 板卡,插入 PCI 插槽,上电匹配源柜通讯参数。
  • 结果:30 分钟调试完成,源柜温度、压力控制恢复稳定,机台恢复正常生产。
  • 工程师感慨:Schumacher 源柜控制板均为设备专属固件,采购备件务必严格核对完整料号 1460-1556,切勿使用通用工控板尝试替代。