描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | CM330 Combitron |
| 通道数量 | 3 通道（典型配置：2 路皮拉尼 Pirani +1 路冷阴极 Penning） |
| 测量量程 | 1000 mbar ~ 10⁻⁹ mbar（取决于配套探头） |
| 供电电源 | AC115V/230V，50/60Hz |
| 显示方式 | 模拟指针表盘（对数刻度 mbar）+ 通道选择按键 |
| 模拟输出 | 0~10V 对数输出，可接入 DCS/PLC AI 卡件 |
| 继电器输出 | 内置多路压力阈值继电器，真空联锁保护 |
| 兼容探头 | TTR211、TTR216（Pirani 皮拉尼）；PTR225 冷阴极 Penning 规管 |
| 传感器线缆 | 最长可达 100 米 |
| 工作温度 | 5℃ ~ +45℃ |
| 防护等级 | IP20（机柜内使用） |
| 整机重量 | 约 4.54kg |
| 外壳规格 | 19 英寸机架，3HU 高度 |
产品深度介绍
LEYBOLD CM330 Combitron 是莱宝早年经典多通道真空控制器，专门驱动无源真空规管，无需探头自带供电。支持自动量程切换，在粗真空阶段使用 Pirani 热传导规，进入高真空区间自动切换冷阴极 Penning 规，无缝覆盖宽真空区间，单台仪表同时监测 3 个真空腔体 / 测点压力。
面板模拟指针表头直观显示真空压力，背板端子包含：探头接线、0~10V 模拟输出、多路继电器触点。继电器用于真空联锁，例如真空炉、镀膜机到达设定真空度后，触发阀门、分子泵启停保护；0~10V 模拟信号输出，可送入 DCS 模拟量采集模块（如 ABB AI810），在 800xA 画面做真空压力显示、历史记录、高低报警。
重要说明：CM330不带数字通讯总线（无 RS485/Profibus），只能依靠 0-10V 模拟量接入 DCS；替代型号 CM51 支持 RS232/Profibus 数字通讯，老项目改造要注意接口差异。
应用场景与行业案例
CM330 大量用于早年存量真空工艺设备，新项目不再选型，仅做设备备件更换：
- 真空镀膜行业：蒸发镀膜、溅射镀膜腔体真空监测，联锁分子泵、闸板阀
- 冶金真空炉：热处理、烧结炉，炉体真空压力监控与安全联锁
- 科研真空装置：实验室高真空实验腔体监测
- 半导体老设备：旧真空工艺腔体压力采集，接入 DCS 系统记录工艺曲线
典型改造案例 某光学镀膜生产线，设备原配 CM330 真空控制器故障，现场配套 AC800M 800xA DCS 采集真空压力。 方案对比： 方案 1：直接更换 CM330 拆机备件，保留原有 3 支 TTR/PTR 探头、原有 0~10V 模拟接线，DCS 组态完全不动，停机窗口 2 小时。缺点： 属于停产老仪表，后续备件供应越来越紧张。 方案 2：升级为莱宝 CM51，需要更换探头，新增 Profibus 通讯接线，DCS 侧增加 CI854K01 DP 通讯卡，组态改动量大，停机至少 1 天，改造成本高。 现场选择方案 1，拆机 上机，原有探头复用，模拟信号直接送入 ABB AI 模块，DCS 画面真空显示、联锁全部正常。 风险点：老探头老化、阴极污染，容易出现压力读数漂移，很多时候不是 仪表故障，而是规管失效
