描述
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量原理 | 倒置磁控冷阴极放电（反磁控潘宁规） |
| 标定气体 | 氮气（N₂） |
| 测量量程 | (5×10^{-10}\ Pa \sim 5×10^{-3}\ Pa) |
| 推荐稳定区间 | (1×10^{-7}\ Pa \sim 5×10^{-3}\ Pa) |
| 阳极高压 | 3300 VDC |
| 输出信号 | 离子微电流（nA 级，由控制器采集换算压力） |
| 结构特点 | 无钨灯丝，可承受意外破真空冲击；内置永磁磁场 |
| 密封形式 | 金属密封，常见 CF 法兰、KF 法兰不同子版本 |
| 烘烤耐受 | 可烘烤除气（按版本区分，下单前确认子型号） |
| 工作环境温度 | 0～40 ℃ |
| 配套控制器 | 原厂老款驱动单元、GH080 兼容控制器；新款普发通用真空表大多不兼容 |
产品深度介绍
BALZERS IKR020 是上世纪经典倒置磁控冷阴极规管，区别于传统热阴极电离规，没有容易烧毁的灯丝，适合需要长期连续值守的超高真空腔体。 规管本身属于无源传感头，由外部控制器供给 3300V 高压，腔体内气体电离产生离子流，控制器采集微弱离子电流换算真空压力读数。冷规天然短板：存在起辉延迟、高压打火、气体组分修正，适合工艺趋势监测、真空联锁，不适合高精度计量。 在存量系统中，多用于四极质谱 QMA 配套、PVD 真空镀膜机、粒子加速器束线、航天热真空罐；设备改造需要同步更换控制器、修改联锁逻辑，成本极高，用户优先寻找同型号规管直换。
应用场景与行业案例
典型应用场景：
- 高能物理、同步加速器束线超高真空监测 分布式真空联锁，保护束流部件。
- 老款 PVD 真空镀膜、磁控溅射腔体 长时间连续生产，规避灯丝烧断非计划停机。
- 残余气体分析 RGA/QMA 质谱分析室本底监测
- 航天零部件真空热试验、空间模拟罐
案例：某科研院所加速器束线真空抢修 某研究所老加速器束线 IKR020 内部绝缘漏电，控制器报高压保护、无离子流，束线失去真空监测，无法开展实验。原厂早已停产，IKR060/070 高压特性、磁场结构不匹配，原有控制器无法驱动。 出库前在超高真空测试台搭配 GH080 控制器，完成高压绝缘、起辉、压力比对测试，留存测试曲线。备件上机、规范烘烤除气后，规管稳定起辉，压力读数正常，束线恢复实验。院所后续储备 1 支同型号作为应急备件。
